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中科院微電子所在極紫外光刻基板缺陷補償方面取得進展
近日,中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發中心在極紫外光刻基板缺陷補償方面取得進展。
光刻技術
紫外
極紫外光刻
光學
集成電路
09-16
我國科研人員在高手性度自旋傳輸的光子器件研究中取得進展
近期,中國科學院物理研究所/北京凝聚態物理國家研究中心光物理實驗室L02組博士生肖珊、研究員許秀來和L03組研究員金奎娟與納米物理與器件實驗室N09組研究員張建…
光子器件研究
光學研究
科研成果
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08-25
總數:2
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